有效避免震动对传送精度的影响，特有的高精度传感器，能实现掩膜板探出报警，可满足半导体行业对掩膜板传送的要求。
可处理对象   可开关 RSP150 光罩盒
Z 轴
动作范围   240mm
重复精度   ±0.1mm（上、下端定位）
开盒时间   <13s
闭盒时间  <13s
初次启动开机时间  <20s（含回 Home 时间）
工作温度 0-40℃
动力源   AC220V 1.4A

掩模板过度突出报警功能。

安全碰撞感应装置。

全部驱动轴采用电机驱动。

控制方式：操作控制盒控制。

SP2200 系列 loadport 用于半导体制造设备、
检测设备内部载入载出 SMIF。能够兼容符合
SEMI 标准的各类 SMIF。
 扫描功能可选。
 SMART-TAG 读取功能可选。
 E84 控制功能可选。
 兼容符合 SEMI 标准的 SMIF，无需示教。
 装置符合 SEMI E15 及 E63。
 全部驱动轴采用电机控制。
 控制方式：RS232C 以及 I/O 连接。

LSL3100 系列 loadport 用于半导体制造设备、检测设备内部载入载出 FOUP/FOSB。能够兼容符合 SEMI 标准的各类 FOUP 和 FOSB。
 扫描功能可选。
 FOUP ID 读取功能可选。
 E84 控制功能可选。
 兼容符合 SEMI 标准的 FOUP 和 FOSB，无需示教。
 装置符合 SEMI E15.1.E57，E62，E63，E64。
 全部驱动轴采用气动控制，相较于电机具有稳定性好，控制简单的特点。
 控制方式：RS232C 以及 I/O 连接。

VCE 8系列vacuum cassette elevator用于配合半导体真空设备内部载入载出cassette，与VTM Robot配合完成真空环境下wafer的传送。能够兼容符合SEMI标准的各类6 inch cassette和8 inch cassette。

AL3323系列aligner用于半导体制造装置内部、检侧装置内部，校准需要搬送的晶圆。

4轴圆柱坐标型真空无尘ROBOT SVR3400系列，应用于真空腔体内搬运300mm晶圆，能够达到国外同类型产品性能

3轴圆柱坐标型真空无尘ROBOT SVR3300系列，应用于真空腔体内搬运300mm晶圆，能够达到国外同类型产品性能。

超洁净无尘室用多轴型设计，4轴水平多关节无尘ROBOT SR3400系列，适用于300mm晶圆的半导体制造装置，检查装置等的晶圆搬送。