LPG150 series(掩膜版取放系统）

有效避免震动对传送精度的影响，特有的高精度传感器，能实现掩膜板探出报警，可满足半导体行业对掩膜板传送的要求。
可处理对象   可开关 RSP150 光罩盒
Z 轴
动作范围   240mm
重复精度   ±0.1mm（上、下端定位）
开盒时间   <13s
闭盒时间  <13s
初次启动开机时间  <20s（含回 Home 时间）
工作温度 0-40℃
动力源   AC220V 1.4A

掩模板过度突出报警功能。
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安全碰撞感应装置。
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全部驱动轴采用电机驱动。
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控制方式：操作控制盒控制。