SP2200 series Loadport

SP2200 系列 loadport 用于半导体制造设备、
检测设备内部载入载出 SMIF。能够兼容符合
SEMI 标准的各类 SMIF。
 扫描功能可选。
 SMART-TAG 读取功能可选。
 E84 控制功能可选。
 兼容符合 SEMI 标准的 SMIF，无需示教。
 装置符合 SEMI E15 及 E63。
 全部驱动轴采用电机控制。
 控制方式：RS232C 以及 I/O 连接。