LSL3100 series Loadport

LSL3100 系列 loadport 用于半导体制造设备、检测设备内部载入载出 FOUP/FOSB。能够兼容符合 SEMI 标准的各类 FOUP 和 FOSB。
 扫描功能可选。
 FOUP ID 读取功能可选。
 E84 控制功能可选。
 兼容符合 SEMI 标准的 FOUP 和 FOSB，无需示教。
 装置符合 SEMI E15.1.E57，E62，E63，E64。
 全部驱动轴采用气动控制，相较于电机具有稳定性好，控制简单的特点。
 控制方式：RS232C 以及 I/O 连接。