8 inch SORTER（XD-S200）

全自动8英寸晶圆倒片机（XD-S-200 Wafer Sorter），主要用于晶圆的自动倒片、传输和定位。目前该产品已经获得华润上华等公司订单。
XD-S-200 Wafer Sorter整机采用模块化设计，整机符合SEMI 标准。
设备配有自主知识产权的多关节机械手模块、俯仰片盒承载装置、预对准模块。另外还配备有Mapping模块、除静电模块、carrier ID读取模块。
 多关节机械手结构简单、适用范围广、工作效率高，工作过程稳定可靠。
 俯仰片盒承载装置在俯仰的过程中可实现对硅片的整理与对齐，便于机械手的取片动作。
 预对准装置可实现对晶圆缺口的检测并依据缺口位置对晶圆进行定位，OCR读取。
 Mapping模块可以识别片盒中晶圆的状态，如有、无或斜片等。