EFEM（XD-Ex00）

全自动晶圆设备前端模块（XD-Ex00 Wafer EFEM），主要用于晶圆盒和工艺端的自动传输、定位。
XD-E-xx0 Wafer Sorter整机采用模块化设计，整机符合SEMI 标准。
设备配有自主知识产权的多关节机械手模块、标准片盒承载装置、预对准模块。另外还配备有Mapping模块、除静电模块、carrier ID读取模块、E84模块。
 多关节机械手结构简单、适用范围广、工作效率高，工作过程稳定可靠。
 片盒承载装置可实现6、8、12英寸wafer carrier、FOUP识别。
 预对准装置可实现对晶圆缺口的检测并依据缺口位置对晶圆进行定位（可实现OCR读取）。
 Mapping模块可以识别片盒中晶圆的状态，如有、无或斜片等