12寸晶圆倒片机

全自动12英寸晶圆倒片机（ALI-300 Wafer Sorter），主要用于晶圆的自动传送、定位和排序。
ALI-300 Wafer Sorter整机采用模块化设计，整机符合SEMI 标准。
设备配有自主知识产权的单臂单叉机械手模块、预对准模块和ID Reader模块，三模块在水平方向上同步运动，可在晶圆传输的过程中实现对晶圆缺口的检测及ID的读取，提高了Sorter的传片效率。
设备同时配置高效FFU，采用全封闭结构，具有超洁净性能，其洁净度达Class1。